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聯盟團體标準發布公告(一)

聯盟團體标準發布公告(一)

來源:
ICMtia
2019/04/22
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根據《團體标準管理規定》及《集成電路材料産業技術創新聯盟标準制定程序》要求,經聯盟标準委員會審議通過,現批準發布如下2項團體标準:

T/ICMTIA 1-2019《集成電路材料産業技術創新聯盟氣體基礎規範》

T/ICMTIA 2-2019《集成電路用過氧化氫》

 

以上标準于2019年4月17日發布,并于2019年10月10日開始實施,特此公告。

 

附1:《集成電路材料産業技術創新聯盟氣體基礎規範》目錄

附2:《集成電路用過氧化氫》目錄

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