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團體标準立項公告

團體标準立項公告

來源:
2019/06/17
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各有關單位:

經集成電路材料産業技術創新聯盟(簡稱:ICMTIA)标準委員會審查,現決定開展如下6項團體标準的制定工作:

2019-10LX-ICMTIA 《集成電路用固體ArF光刻膠單體》

2019-11LX-ICMTIA 《集成電路用液體ArF光刻膠單體》

2019-12LX-ICMTIA 《集成電路用ArF幹式光刻膠》

2019-13LX-ICMTIA 《集成電路用ArF浸沒式光刻膠》

2019-14LX-ICMTIA 《集成電路用光刻膠檢測方法》

2019-15LX-ICMTIA 《集成電路用300mm矽外延片》

項目歸口管理單位為ICMTIA标準委員會,歡迎與本标準有關的科研機構、相關企業、使用單位等加入本标準的起草制定工作,有意參與者請與标委會辦公室聯系。

如有單位或個人對以上标準項目存在異議,請在公告之日起10個工作日内将意見反饋至标準委員會辦公室。

 

聯系人:劉 岩

電  話:010-82358415

郵  箱:liuyan@juhua423286.cn

 

 

 

集成電路材料産業技術創新聯盟

二零一九年六月十七日

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